作者 analiya (莉雅)標題 Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破??!!時間 Sat Sep 16 14:11:00 2023
自媒體誇大了,但也不是完全沒有那麽回事。
分享下。
1、中國的光刻機研製,現在是duv、euv同時在弄。duv肯定是傳統路綫,應該差不多了。而
euv是不同的3、4種技術路綫在同時弄,每條路綫都有不同的科研院所負責。
中科院長春光研所負責asml的那種euv。
2、光學、精細化工之類的,其實中國自身并不差。主要以前沒有不計成本也要弄出來的動
機,弄出來了也沒人會用。但現在因爲美國制裁,中國的半導體產業的市場完全被美國主動
讓出來了,那造出來自然就有意義,能夠迭代。
現在看,光源、光刻膠之類的都已經有中國企業弄出來了,還在最後的總裝過程中。
3、至於這個清華的版本,是腦洞最大的一個,現在已經進行實際預研建設了。
簡單説就是放棄小型化、集約化,從而換取技術上難度的下降。
asml的光刻機,在一個集裝箱中,有光源、有各種光學鏡片、有各種防氣體污染的管路。之
所以這個技術路綫,一是因爲asml的技術路徑依賴,二是因爲光刻機是商品,必須滿足遠洋
運輸、後期調試的需求。
清華的版本,是儅基礎設施弄,光源不在内置,而是如發電廠集中供電、中央鍋爐集中供熱
水一樣,用同步輻射光源做發光厰集中供應光。
因爲同步輻射光源的特性,功率可以做到asml的euv的幾十倍,而且是廣譜光。通過電磁場
的不斷偏轉,不同波長的光會從不同的接口被篩選出來,也就是理論上從1nm到100nm的光源
同時供應。
根據功率、光源波長等,一個光源厰能同時供應幾十個光刻厰,效率和電能利用率會很高,
哪怕單個厰的良率沒那麽高,成本也能平攤下來。
另外因爲沒有空間限制,可以省掉各种复杂的光路和精度极高的镜片组,直接来上千W的8nm
波长。
EUV的三大难点:光源、物镜和工作台,直接跳过前俩,只要保证双工作台的精度就行。
以前其實就有這種路綫,但因爲占地大、成本高、同時用電大三個問題,并不是asml這種企
業的選擇項。
但對於中國,這些缺點并不是問題,只要能造出來就可以。
占地大,中國就是地多,也不需要儅商品運輸,而且輻射光源有其他用處,可以一魚多吃。
成本高,對於現在一臺幾臺幾億美金來説,其實也不高了,而且可以同時大量起光刻厰,
中國佔半導體產業50%的需求量,只要能造出來就有市場。
用電大,中國自己發電就占全世界的30%,而且内蒙、貴州這些地方電多到用不出去。綜合
去算幾十個光刻厰同時運作,其實能耗和asml的光刻機差不多了。
只不過,現在是理論上很完美,也是中國諸多技術中的一種。但實際工程化卻不一定能很快
弄出來。現在最快的的還是傳統路綫。
但asml總裁之前説中國有很多聰明人,能想出不一樣的路綫,也是意有所指。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 111.162.145.209 (中國)
※ 作者: analiya 2023-09-16 14:11:00
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※ 同主題文章:
Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破??!!
09-16 14:11 analiya
噓 WindSucker: 中或贏1F 223.137.150.126 台灣 09/16 14:13
→ railman: 傳統路線是手刻嗎?2F 223.137.138.1 台灣 09/16 14:13
→ potionx: 先把公務員的欠薪補上再說吧 哀3F 1.164.106.141 台灣 09/16 14:13
→ thepowers: 八成對岸粉紅洗地,內文有簡體呢4F 114.26.28.211 台灣 09/16 14:13
→ andytaso: 並 不過搞久了應該還4能搞些皮毛出來5F 36.226.7.190 台灣 09/16 14:14
推 democrat: 大躍進時代的土法煉鋼7F 114.137.97.38 台灣 09/16 14:16
推 squelch: 美國看到又要各種制裁了8F 1.200.37.11 台灣 09/16 14:17
推 Marcin: 中國彎道超車9F 123.252.23.120 台灣 09/16 14:17
推 BaGaJohn5566: 荷蘭肯定之後會跪下來求中國10F 42.79.154.254 台灣 09/16 14:17
推 arm370x: 光學精細化工之類的,其實中國並不差??11F 123.193.177.172 台灣 09/16 14:18
是的。
比如,很多非綫性光學晶體啊,光學衛星之類的,中國的技術應該是只差過美國。而整體光
學,也只差過美日德。差距沒有那麽大。
而之前韓國被日本斷供光刻膠和各種精細化工產品,替代品就是中國的光刻膠和其他經濟化
工產品。
中國的光刻膠,可能純度還沒有日本高,但也是能用。7nm、5nm應該沒問題。但再往上可能
就會受純度影響了。
只要開始工程化、產業化使用,迭代升級的速度遠比鄉民想得要快。
推 kazami: 中國雙贏12F 1.164.89.162 台灣 09/16 14:18
噓 beviswu: 看到「光刻」兩字先噓再說13F 111.82.207.139 台灣 09/16 14:18
→ arm370x: 主要是德國日本人有送禮包吧 尤其德國14F 123.193.177.172 台灣 09/16 14:19
推 s213092921: 中國聰明人多,工業基礎設施電力也發達15F 220.138.152.44 台灣 09/16 14:19
→ arm370x: 真的歐洲裡最挺中國的 整艘船不收錢的17F 123.193.177.172 台灣 09/16 14:19
噓 zz71: 這篇我存檔了 不意外3年後樓上某些ID還在吹中國遙遙領先18F 101.137.78.122 台灣 09/16 14:20
→ arm370x: 要不要先查一下再來秤中國還有多少斤兩20F 123.193.177.172 台灣 09/16 14:20
→ alway70345: 中國贏21F 223.138.168.200 台灣 09/16 14:21
推 ballby: 用不同的方式,達到一樣的效果22F 42.79.217.17 台灣 09/16 14:24
※ 編輯: analiya (111.162.145.209 中國), 09/16/2023 14:24:47
推 s213092921: 幾年前也是一堆人說華為完蛋了,現在?23F 223.139.201.105 台灣 09/16 14:25
→ cmc563: 中國真勵害,可以不計成本,遙遙領先25F 101.0.238.125 台灣 09/16 14:25
→ amos30627: 最後會發現光刻廠卡脖子技術沒比較少26F 61.71.129.94 台灣 09/16 14:26
→ bearq258: 1-10nm波長就定義在x光27F 223.138.104.173 台灣 09/16 14:26
→ amos30627: 德國人是真的輸不少血給中國28F 61.71.129.94 台灣 09/16 14:26
→ MKIIjack: 好的 請空襲美航母30F 175.182.182.187 台灣 09/16 14:28
噓 blue999: 好啦 中或贏 中國no1 中國no131F 61.231.223.93 台灣 09/16 14:28
推 yoshilin: 一堆酸民是沒看過龜兔賽跑的故事嗎?
大烏龜雖然慢,但是一步可以跨1km,小兔子要跳多久32F 101.136.169.12 台灣 09/16 14:32
→ potionx: 原來中國是烏龜 那烏龜的頭肯定是習近平35F 1.164.106.141 台灣 09/16 14:35
推 amy93: 專業文36F 82.66.153.28 法國 09/16 14:42
→ lain2002 …
→ lain2002: 中國又贏了37F 36.236.104.145 台灣 09/16 14:46
推 lanslore: 謝謝分享41F 101.10.108.97 台灣 09/16 14:48
→ hermanwing …
→ hermanwing: 這次中國人無比團結用國貨42F 27.51.42.77 台灣 09/16 14:48
推 sparking: 好文推43F 114.137.212.72 台灣 09/16 14:50
推 k1k1832002: 其實就封鎖了,以前高成本選項現在怎樣也得用,但如果打出新路徑,只能說那沒辦法,美國搞得44F 36.237.181.210 台灣 09/16 14:56
→ tenka92417: 只要阿共弄得出可以用的設備零件跟維修能力,就不需要用西方最先進的設備47F 114.44.17.164 台灣 09/16 15:02
推 bbalabababa: 中企都是國家不演直接輸血的
最近歐盟已經開始注意電動車了49F 118.160.66.12 台灣 09/16 15:05
→ wiie: 這做法讓我聯想到幾年前的組合屋模式
量化到一定程度攤低成本,就能夠開始外銷52F 59.125.225.55 台灣 09/16 15:09
推 ilovebig99: 看來真的會做起來耶,光的問題克服只是時間的問題54F 42.77.35.79 台灣 09/16 15:11
→ loko: 這不是聰明人多不多的問題 是技術力差距的問題 這文章根本亂寫一通 也可以來這洗地...56F 36.224.144.139 台灣 09/16 15:12
噓 gigongwen: 喇低賽哀低也有人推 沒救了58F 24.19.5.120 美國 09/16 15:20
噓 suge: 這篇不就全民大煉鋼嗎59F 42.75.28.165 台灣 09/16 15:21
→ deangogi: 非線性哪有比美國差60F 61.228.174.65 台灣 09/16 15:25
→ Jetame: 當八卦是微博? 還真的是61F 118.169.104.223 台灣 09/16 15:28
噓 k0122k: 根本北七62F 24.4.155.131 美國 09/16 15:29
推 anylu: 華為不是手刻9000s出來了,接下來
手刻3奈米不意外。63F 27.51.81.223 台灣 09/16 15:36
推 firecrest: 中又贏65F 1.175.71.187 台灣 09/16 15:40
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