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※ 本文轉寄自 ptt.cc 更新時間: 2022-02-02 16:26:04
看板 Tech_Job
作者 skysleep (知易型男)
標題 [心得] 半導體製程整合心得
時間 Wed Feb  2 11:56:09 2022


    由於小弟在Fab也做了幾年製程整合,這邊整理一下製程整合會碰到,而且需要具備
的相關知識心得。希望可以對想要進入或剛進入製程整合的新人有所幫助~

如果有誤,再麻煩指正,感謝~

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    首先,整個半導體產業最終的目的就是做出可以運算/感測/放大...各種訊號的晶片
,所以一定要記得,Fab做出來的東西是要通電的。有很多做製程的工程師,做到最後對
製程很熟悉,但是卻不知道為什麼要這麼做


(Ex:為什麼要HKMG? 為甚麼要contact下面一定要重參雜? 為什麼poly也要打IMP?)

    我們可以先看下面這張電路階層圖,這張圖由下到上展現了從元件開發到電路設計的
關係,從最下面的MOS/電阻/電感...到上面的邏輯閘,再到最後設計出的電路功能。

https://imgur.com/ad1HQIV
[圖]

    這張圖中展示了Fab和豬屎屋之間的關係,Fab是Bottom up來看電路,主要負責各種
Device特性開發,例如:MOS/Cap/電阻/電容...。而其中就牽涉到半導體元件,製程,量
子物理,光學,化學...等等基礎科學。


    另一方面,豬屎屋則是Top down來看電路,從一開始晶片應用領域(是CIS,HPC,還
是高壓電路?),到電路設計/模擬...,主要需要熟悉電子電路,數位,類比,計算機...


    而其中,PDK就扮演了溝通橋梁,PDK內含的平台文件就可以讓Designer知道,各種電
子元件會出現的Performance,並且進行模擬/設計。而PDK也會讓製程整合知道,製程
Spec該如何制定卡控。

===============================================
    而從製程平台的角度來看,可以分成幾個階段
https://imgur.com/cre4aqz
[圖]

1. 製程平台開發
  主要由TD或RD執行,這階段需要了解客戶會用到甚麼樣的元件,操作電壓,漏電大小,
SOA...,並且搭配場內製程,來開發元件。而有了基本的製程flow,就可以實際跑實驗
Lot,撒split條件,確認有沒有打到目標。

  實驗Lot跑完了,就可以準備做model,這時就要提供Si data給model team,生出SPICE
model,也要制定電性 spec,最後才能送Qual驗證可靠度

  而其中也牽涉到IP驗證,IP需要在廠內製程Run過之後,才能實際送給IP house驗證,避
免因製程差異而function異常。

2. 製程平台改良
  主要由TD執行,平台OK之後,客戶才會下單NTO,而過程中製程整合需要做窗口,不管是
DRC有問題,產能時程問題,各式各樣的問題都要回答客戶。

  而初期Pi-run,需要確認各項製程Window足夠,有了製程Window才有電性Window,最後才
有良率Window

3. 製程平台量產
  初期Pi-run結束後,到一定量,就會轉量產,量產就會專門做製程改善,Inline Cpk改善
,抓commom tool,產能改善...

https://imgur.com/Pl9qP2K
https://imgur.com/Suqou1k
[圖]
 
[圖]
===============================================
  老實說,製程整合在Fab真的需要蠻長的訓練期,1~2年可能都還是新人,做不出什麼貢獻
,畢竟初期光是要把製程和電性關係了解,就要花很多時間。所以一開始都在帶Lot。

  而製程和電性關係了解之後,才可能去調動製程條件,把電性做調整。而這一切的核心其
實還是半導體元件物理,真的建議找本課本,或開放式課程看看。


  製程整合在Fab需要接觸很多面向,幾乎甚麼事情都會變成整合要做Owner
(Ex:
產品Low yield  --> 整合找module 討論root cause
Device Qual不過--> 整合找Q 討論root cause
Pi-run交期太慢 --> 整合找生管幫忙)

所以整合常常要做溝通橋梁,一邊是客戶,一邊是廠內Module,很需要溝通技巧,合作能


  而接觸面廣,有好處也有壞處。整合可能是process懂一點,Model懂一點,Device懂一點
,良率分析懂一點,Qual懂一點...。但反過來說,也是因為什麼都要碰所以也才能與豬
屎屋溝通,所以也有人之後就跳去客戶端發展。

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cavabien    : 推1F 02/02 12:01
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IANDRUMMANIA: 好文,不過各公司跟部門管理的文化才是重點。26F 02/02 13:03
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godnnn      : 整合知道很廣,但卻也什麼都不懂36F 02/02 13:26
tthtt60018  : U文37F 02/02 13:27
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ian41360    : EDA拉出來有correnation plz PE check46F 02/02 13:43
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Xifer       : 雖然都是產線三寶,不過打的算詳細48F 02/02 13:45
soulout     : 你懂製程49F 02/02 13:45
kbdhsiao    : 謝謝您的分享50F 02/02 13:45
rex00125    : 推51F 02/02 13:51
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cloud6732   : 優質文給推~~~53F 02/02 13:52
naxe        : 推,熱心分享54F 02/02 13:57
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zzyzx       : 接觸的東西太多 要每個學到精很困難56F 02/02 14:03
eric6210    : 每個都碰一點 真打雜工57F 02/02 14:13
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wenroujason : 對新人很有幫助,觀念正確,推59F 02/02 14:27
wayneh1556  : 推60F 02/02 14:27
ijk1        : GG PID: 你在說什麼? 我只知道帶貨、ppt、excel跟H61F 02/02 14:28
ijk1        : L module
ntscmeiho   : 非常精準63F 02/02 14:32
wayneshih   : 用心64F 02/02 14:34
ming5566    : gg pid: 我只會od loop65F 02/02 14:40
ming5566    : 蝦咪係NTO?
qwe806016   : 推認真!67F 02/02 14:42
Dgpt        : 笑死,L/Y 找媽久討論這種話你們說的出來喔,不都68F 02/02 14:45
Dgpt        : 馬是HL製程跟設備,叫他們生report出來給你們抄著
Dgpt        : 看
godrainbow  : 真的很用心,我對應的整合窗口只會裝逼把自己當小主71F 02/02 14:47
godrainbow  : 管派工,問題一問三不知,查了一下還發現不少菜鳥,
godrainbow  : 我都想嗨賴他父母查一下他們家小孩到底有什麼問題要
godrainbow  : 好好改善一下不要出來害人
lolpklol0975: U 質75F 02/02 14:49
jimjiang    : 推,兩年心得真的是這樣76F 02/02 14:50
ppc0515     : 推77F 02/02 14:51
Incentive   : 推分享78F 02/02 15:06
bbdd203     : 有時候蠻多module再靠邀整合只會HL 但是當有機會給79F 02/02 15:20
bbdd203     : 他們到整合嘗試時 卻又退縮不說話 各位子都有自己
bbdd203     : 的苦衷 推文沒必要酸酸
h816090     : 強者推82F 02/02 15:21
den7        : 讚讚83F 02/02 15:23
accle7905231: 優質84F 02/02 15:33
lopiuytio   : 真神人85F 02/02 15:34
jpadesky    : 謝謝分享86F 02/02 15:34
kevinfisher : 優文給推,不過GG分工真的太細了,很多人就算做了87F 02/02 15:35
kevinfisher : 兩三年還是只會帶貨跟查inline
unmolk      : 推89F 02/02 15:59
yuki166618  : 推,優文90F 02/02 16:02
mile022     : 整合很容易可以做出價值 也很多人可以做到人人嫌91F 02/02 16:02
jerboaa     : 推92F 02/02 16:05
j821005     : 不懂這些的資深整合到處都是93F 02/02 16:16

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