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作者 標題 [新聞] 清大半導體學院院長林本堅稱，台積電EUV
時間 Mon Dec 27 15:34:40 2021
原文標題：
清大半導體學院院長林本堅稱，台積電EUV量產很久了，技術彎道超車Intel
原文連結：
http://www.investor.com.tw/onlineNews/NewsContent.asp?articleNo=14202112270101
清大半導體學院院長林本堅稱，台積電EUV量產很久了，技術彎道超車Intel(15:21)-財訊快報 清大半導體學院院長林本堅稱，台積電EUV量產很久了，技術彎道超車Intel(15:21)-財訊快報 ...
2021年12月27日 週一 下午3:21
原文內容：
記者李純君報導】前台積電研發副總，也是清大半導體研究學院院長林本堅，今日回憶，
各國際大廠在先進晶圓代工製程領域，先前的EUV聯盟，台積電沒辦法參加，改用浸潤式
（Immersion）微影技術；而發展至今，台積電已經量產EUV很久了，技術上彎道超車英特
爾。 林本堅今日出席清華大學半導體研究學院揭牌儀式，在受訪時回憶，英特爾2002年
，號召業界成立EUV LCC聯盟，包括摩托羅拉、AMD等大廠都在裡面，當時目標包括，開發
出的設備能夠優先被使用到40奈米與60奈米，這個聯盟當初設定為六家廠商，最後一個名
額被IBM搶走了。
各國際大廠在先進晶圓代工製程領域，先前的EUV聯盟，台積電沒辦法參加，改用浸潤式
（Immersion）微影技術；而發展至今，台積電已經量產EUV很久了，技術上彎道超車英特
爾。 林本堅今日出席清華大學半導體研究學院揭牌儀式，在受訪時回憶，英特爾2002年
，號召業界成立EUV LCC聯盟，包括摩托羅拉、AMD等大廠都在裡面，當時目標包括，開發
出的設備能夠優先被使用到40奈米與60奈米，這個聯盟當初設定為六家廠商，最後一個名
額被IBM搶走了。
他進一步提到，當時因為名額滿了，台積電不能參加EUV LCC聯盟，就自己想辦法，在先
進製程的開發上，先採Immersion技術，也因此，台積電其實直到近年的5奈米，才採用
EUV機台設備。
進製程的開發上，先採Immersion技術，也因此，台積電其實直到近年的5奈米，才採用
EUV機台設備。
但以結果論來看，英特爾率先成立的EUV LCC聯盟，除了英特爾之外，其他5家並沒有再持
續了，而且現階段，台積電以EUV設備為主的5奈米製程已經量產很久了，領先全球半導體
廠商，但英特爾卻尚未進入EUV量產，此外，英特爾率先成立的EUV LCC聯盟，除了英特爾
之外，其他5家並沒有再持續了，以結果來看，台積電反而是領先的。
續了，而且現階段，台積電以EUV設備為主的5奈米製程已經量產很久了，領先全球半導體
廠商，但英特爾卻尚未進入EUV量產，此外，英特爾率先成立的EUV LCC聯盟，除了英特爾
之外，其他5家並沒有再持續了，以結果來看，台積電反而是領先的。
林本堅也補充，從採用微影技術，讓製程推進、晶片縮小觀點，半導體應用範圍越來越廣
，量也很大，實際上，要如何以最低的成本達到最高的效果，才是挑戰。他更提到，不一
定從EUV技術去做製程微縮著手，因為用EUV的成本很貴，划不來，但也不代表半導體技術
不需要微影，思考重點是，若有別的辦法縮小尺寸且更能降低成本，就用別的辦法。
，量也很大，實際上，要如何以最低的成本達到最高的效果，才是挑戰。他更提到，不一
定從EUV技術去做製程微縮著手，因為用EUV的成本很貴，划不來，但也不代表半導體技術
不需要微影，思考重點是，若有別的辦法縮小尺寸且更能降低成本，就用別的辦法。
心得/評論：
看起來林本堅大老 還是很不看好EUV
但是 GG目前也是用EUV來做
難道gg又可以開大 用duv去做?
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p幣永恆好
只是沒多少
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噓 : 林本是誰，堅稱？口氣這麽硬我看是很勇哦1F 12/27 15:44
推 : 有人質疑他嗎 堅稱幹嘛2F 12/27 15:45
推 : 堅哥可是GG稱霸晶圓代工的關鍵人物之一3F 12/27 15:46
推 : 林本堅 開發出 immersion DUV 的神人4F 12/27 15:46
推 : 厄本堅稱，絕無臨陣脫逃5F 12/27 15:46
推 : 平井堅?6F 12/27 15:46
推 : 江湖走跳誰不認識我大間哥7F 12/27 15:47
噓 : 本神也敢嘴？8F 12/27 15:50
推 : 前幾樓菜雞？9F 12/27 15:55
→ : 是神人10F 12/27 15:57
推 : 林志堅的兄弟嗎？哈哈11F 12/27 15:58
推 : 居然有人不認得我師父？12F 12/27 15:58
推 : 有神快拜 林本堅對GG的貢獻應該僅次於張忠謀13F 12/27 15:59
推 : euv用過就回不去惹吧14F 12/27 15:59
推 : 居然有人不認識林本堅...15F 12/27 15:59
→ : 同樣的內容寫成三段，這記者真他媽的天才16F 12/27 15:59
真的...要不是不能改內文 我就....→ : 林本堅這麼厲害的人居然還有人在秀下限17F 12/27 15:59
推 : 林本。堅 日本人?18F 12/27 16:01
→ : 沒有這人就沒有現在的GG19F 12/27 16:03
※ 編輯: apple123773 (122.118.150.154 臺灣), 12/27/2021 16:05:53→ : 林本是誰，跟林森有關係嗎？為什麼要堅持20F 12/27 16:05
→ : 堅稱
→ : 堅稱
→ : 大家都好喜歡玩梗 怕22F 12/27 16:06
推 : IEEE 西澤潤ㄧ獎得主 開發immersion的神人23F 12/27 16:06
推 : 林智堅？林本堅？24F 12/27 16:07
推 : 前幾樓真菜，連林本堅都不知道是誰25F 12/27 16:07
推 : 連林 本堅26F 12/27 16:10
推 : Ben會用這招，真的屌27F 12/27 16:10
推 : 真的神技術減低成本，讓傻逼聯盟去玩EUV28F 12/27 16:12
→ : 用低成本賺贏對手，等到真的進到極限
→ : 用低成本賺贏對手，等到真的進到極限
推 : 林本堅都不認識就不要出來評論了30F 12/27 16:13
→ : 對手倒得差不多了，再一次進軍EUV練功31F 12/27 16:14
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